對(duì)于半導(dǎo)體材料的電阻率，一般采用四探針、三探針和擴(kuò)展電阻。
電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測(cè)量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡(jiǎn)單、操作方便，度高，對(duì)樣品的形狀無嚴(yán)格要求。
常用的是直線型四探針。四根探針的針尖在同一直線上，并且間距相等，都是S，一般采用0.5mm的間距，不同的探針間距需要對(duì)測(cè)量結(jié)果做相應(yīng)的校正。
一般目前的四探針電阻率（電導(dǎo)率）測(cè)試儀均已配置厚度的修正，通過厚度數(shù)值的設(shè)置，計(jì)算出不同的樣品厚度對(duì)電阻率的影響。
3.1.電阻率測(cè)量范圍、分辨率
電 阻 率：10.0×10-6～ k×200.0×103Ω-cm 分辨率1.0×10-6～ 0.1×103Ω-cm,k=1～10
3.2.電阻率量程劃分及誤差等級(jí)
滿度顯示 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 | 20.00 |
量程 | KΩ-cm | Ω-cm | mΩ-cm | |||||
基本誤差 | ±2%讀數(shù)±4字 | ±1.5%讀數(shù)±4字 | ±0.5%讀數(shù) ±2字 | ±0.5%讀數(shù) ±4字 | ||||
3.3.數(shù)字電壓表：
⑴量程：10mV ～ 100 mV，自動(dòng)
⑵顯示: 4位有效數(shù)字，大顯示999.9，小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示
3.4.數(shù)控恒流源8檔寬量程
電流輸出：系統(tǒng)自動(dòng)步進(jìn)調(diào)整，直流電流0.1μA，1.0μA，10μA，100μA，1.0mA,10mA,100mA,1.0A共8檔可調(diào)。
3.5.粉末測(cè)試臺(tái)部分參數(shù)：
（1）試樣成份：成份不限，但不得含有對(duì)測(cè)試臺(tái)和電極有腐蝕作用的成份。
（2）試樣粒度：推薦以40目以下—60目以上（標(biāo)準(zhǔn)篩網(wǎng)），一般其他粒度也可！
（3）料杯容積：截面：S=1.0cm2
高度：0～20mm可調(diào),
（4）自動(dòng)高度測(cè)試單元，測(cè)量誤差：±0.02mm。
四位有效顯示數(shù)00.00～20.00mm，分別率±0.02mm。
（5）自動(dòng)壓強(qiáng)測(cè)試單元，
標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)：P0=4Mpa±0.05Mpa。
壓強(qiáng)量程：20Mpa, P=0～20 Mpa可調(diào)。
四位有效顯示數(shù)00.00～20.00MPa，分別率±0.01 MPa。
（6）、壓力機(jī)構(gòu)采用手動(dòng)操作、壓力平穩(wěn)可調(diào)。
3.6.配套PC軟件
1 USB高速通訊接口。
2帶數(shù)據(jù)庫(kù)方式存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，便于歷史查詢和第三方軟件拓展共享。
3自動(dòng)生成excel形式的圖表結(jié)合的測(cè)試報(bào)告,包含電阻率-壓強(qiáng)曲線圖形和詳細(xì)測(cè)試數(shù)據(jù)。
4帶測(cè)試報(bào)告預(yù)覽、編輯、打印功能。
3.7.測(cè)試儀外形與重量
前寬×長(zhǎng)×總高=250mm×220 mm×540mm
重 量=10Kg
3.8.電源：
功 耗：< 10W
輸入:220V±10% 50Hz
3.9.本儀器工作條件為：
溫 度： 0-40℃
相對(duì)濕度： ≥60%
工作室內(nèi)應(yīng)無強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。
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